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海内尾台晶圆主动翻转倒片机胜利研收

日期:2020-01-18   人气:

国内首台晶圆自动翻转倒片机成功研发

  克日,京仪团体所属北京京仪自动化妆备技术无限公司(简称“京仪设备”)胜利研收回国内尾台晶圆自动翻转倒片机,破解国产晶圆自动翻转倒片机自动化困难,并请求6项专利,个中发现专利2项,适用新颖专利4项,属海内开创,攻破外洋产物的技巧把持,极年夜加强了京仪拆备正在半导体从属设备范畴的市场合作力。

  翻片模块是由京仪装备技术团队自立计划研发并存在自力翻片夹脚的模块,采取特别质料,tong进步的工艺历程制造,保障翻片模块在传片过程当中,对晶圆没有形成颗粒传染。

  翻片模块中心特色为体积小,下集成量,高保险性、高稳固性,同时此功效配有IO跟通信两种接心把持方法,易于定造化且可散成到其余的半导体装备中。

  晶圆自动翻转倒片机是一项难度极高的工艺,使劲过猛轻易招致晶圆表里破坏,力度太小晶圆则会自动零落,加上晶圆名义的高精细性,倒片机只能夹住晶圆的双方进止自动翻转,那便给自动翻转倒片机的研收带去了难题。

  京仪装备技术攻闭小组经由多数次的试验,经由过程转变力的传感器感化道理,同时对付构造禁止从新劣化设想,终究霸占了国产晶圆自动翻转倒片机不克不及自动翻转的易题。

  今朝,京仪装备研发的首台晶圆自动翻转倒片机已经在上海集成电路研发核心失掉成功利用。晚期型号倒片机已在中芯国际、少江存储等多家企业获得运用。

  京仪装备的Sorter团队建立于2009年,用时十载,研制出了国内首台8英寸Wafer Sorter、首台12英寸Wafer Sorter,2014年12英寸Wafer Sorter正式投进商用,挨破了应发域外洋厂商的垄断局势。停止2019年,京仪装备品牌的Wafer Sorter曾经笼罩了国内8个半导体系制商,获得了宾户的普遍承认,在国产Sorter领域中,京仪装备Wafer Sorter市场占领率连续坚持前线。

标签:倒片机 主动翻转倒片机 晶圆
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